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六自由位移臺
簡要描述:

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-06-26
  • 訪  問  量:47
  • 產品簡介


image.png


規格

XY

θXθY

Z

θZ

有效行程

±50mm

±3deg

±50mm

±5deg

電機類型

直線電機

直線電機

直線電機

直驅電機

光柵分辨率

4.88nm1vpp

4.88nm1vpp

4.88nm1vpp

0.04sec

最小步長

100nm

0.3sec

100nm

0.1sec

重復定位精度

±0.2um

±1sec

±0.3um

±1sec

定位精度

±1um

-

±1um

±5sec

速度

100mm/s

30deg/sec

15mm/s

4rps

負載

水平負載10kg,垂直使用負載請聯系廠家溝通

質量

整機重量20kg


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